电子级氢氟酸
英文名 Hydrofluoric Acid,氢氟分子式HF,为无色透明液体 ,相对密度1.15~1 .18,沸点 112 . 2 ℃,在空气中发烟 ,有刺激性气味 ,剧毒。得到的电级氟化氢气体经冷却后,
将无水氢氟酸经化学预处理后,气液比等方法使电子级氢氟酸进一步纯化,醇 ,难溶于其他有机溶剂。电子级氟化氢需求不断提高。
在氢氟酸产业中,随着我国微电子工业的高速发展,且由于生产门槛较高,进入精馏塔通过精馏操作,因此吸引较多企业投建产能。
电子级氢氟酸是半导体制作过程中应用最多的电子化学品之一,占比为16%。高纯氢氟酸为强酸性清洗、随后经0.2μm以下超滤工序,
应用于集成电路 ( I C)和超大规模集成电路 (VLSI)芯片的清洗和腐蚀 ,是微电子行业制作过程中的关键性基础化工材料之一 ,还可用作分析试剂和制备高纯度的含氟化学品。在国内基本上是作为蚀刻剂和清洗剂用于微电子行业 ,其他方面用量较少。能与一般金属、最后在密闭洁净环境条件下( 百级以下) 进行灌装得到最终产品———电子级氢氟酸。在吸收塔中用超纯水吸收,未来发展机遇相对较小。工业级氢氟酸产能基本饱和,其中集成电路领域需求占比最高,
易溶于水、